LSPC系列193nm激光可根据客户需求定制多波段（248nm，266nm，213nm，193nm等）脉冲激光输出。

激光最小加工尺寸：<1μm

样片加工尺寸可调

工作模式：1单次击打模式，2连续击打模式，3Burst模式
光束通过匀化处理，结合特有的光束传导系统，获得极为平坦的剥蚀坑。所有剥蚀尺寸下，具有恒定能量密度。
精确的剥蚀深度和小到1μm的剥蚀坑，使其成为非常理想的包裹体和薄膜类样品的分析工具。
产生更加细小的剥蚀颗粒，提高气溶胶传输效率，并最大程度减小颗粒的沉积。
全自动激光剥蚀软件，包括用于样品导航的广角视野屏幕。

性能参数：